例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(Produce)的光刻曝光（exposure)工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅(silicon)片的熱膨脹(inflate)系數(shù)的差要求越來(lái)越小。凈化車(chē)間凈化車(chē)間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。直徑100 um的硅(silicon)片，溫度（temperature)上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉(Sodium)的半導(dǎo)體(semiconductor)車(chē)間，這種凈化車(chē)間不宜超過(guò)25度。 濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻(cooling)水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密(precise)裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓），凈化車(chē)間壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。潔凈室車(chē)間凈化工作原理為當(dāng)控制器接通電源時(shí)，油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在高效吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。
2.相通凈化車(chē)間之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
3凈化車(chē)間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化車(chē)間凈化車(chē)間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內(nèi)空氣的流通量)，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透（Osmosis)）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
在生物制藥GMP凈化領(lǐng)域發(fā)展多年，實(shí)施了一系列GMP凈化車(chē)間，對(duì)于一些高難度（difficulty)的項(xiàng)目也通過(guò)過(guò)硬的技術(shù)實(shí)力和訓(xùn)練有素的施工隊(duì)伍完美完成。
客服