潔凈室(間) cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間。
注：房間也可理解為多個潔凈間等組成的區(qū)域。
輔 助 區(qū) support area
潔凈間外有一定潔凈度要求，以保證潔凈間空氣潔凈度穩(wěn)定性為主要目的，并為潔凈間做相應準 備、服務工作的區(qū)域。
緩沖區(qū) buffer area
輔助區(qū)內(nèi)與無潔凈度要求空問的通行區(qū)域。其內(nèi)可設某些功能區(qū)。
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